Đồng hồ đo lưu lượng khí CMS kết hợp cảm biến dòng chảy nhỏ, cảm biến dòng chảy nhỏ nhiệt do Azbil Corporation phát triển sử dụng. Công nghệ vi gia công silicon. Bằng cách tích hợp cảm biến này với công nghệ thiết kế kênh tiên tiến, chúng tôi có thể đạt được độ chính xác và phạm vi đo lường mới với mức giá thấp. Đây là lưu lượng kế thế hệ tiếp theo có khả năng sử dụng và độ tin cậy được cải thiện.

Đặc điểm nổi bật

CMS tích hợp cảm biến dòng chảy siêu nhỏ, được chế tạo bằng công nghệ vi gia công silicon và màng mỏng. Cảm biến dòng chảy nhiệt chỉ dày 1,7 mm và 0,5 mm, có độ nhạy cao và phản hồi nhanh.
Vì CMS là đồng hồ đo lưu lượng khối lượng nên phép đo của nó không bị ảnh hưởng bởi nhiệt độ hoặc áp suất.
Độ chính xác cao ±5% rdg. và độ phân giải cao
Tín hiệu đầu ra tương tự có thể được chuyển đổi giữa 0-5 V, 1-5 V và 4-20 mA bằng các phím.
Các chức năng của CMS bao gồm chỉ báo lưu lượng tức thời, hiển thị lưu lượng tổng hoặc tổng ngược, đầu ra sự kiện, đầu ra xung tổng, đầu vào thiết lập lại lưu lượng tổng, điều chỉnh tỷ lệ đầu ra, chuyển đổi loại khí, v.v. cho nhiều ứng dụng khác nhau.

Specification

Thông số	Giá trị
Loại cảm biến	Đồng hồ đo lưu lượng
Model	CMS0200BSRN200100
Môi chất đo	hydro, helium, khí khô không chứ thành phần ăn mòn (clo, sunfur, acid), phải sạch, không có bụi và hơi dầu
Dải đo danh định	0 đến 200 L/min (Standard)
khả năng lặp lại	±5.0% F.S.
Áp suất vận hành	-0.07 to 1.0 MPa
Sức cản áp suất	1.5MPa
Vật liệu tiếp xúc	SUS 316, flouroelastomer
Vật liệu vỏ	Polycarbonate
Tín hiệu ngõ ra	DC 0-5 V/1-5 V/4-20 mA, có thể thay đổi bằng các phím. Điện trở tải cho phép: Tối thiểu 250 ΚΩ cho điện áp đầu ra, Tối đa 300 Ω cho dòng điện đầu ra
Điện áp nguồn	12 to 24 V DC
Phạm vi điện áp cung cấp	11.4 to 25.4 V DC
Tiêu thụ dòng điện	100 mA max.